標準編號：GB/T 14140-2009硅片直徑測量方法
標準狀態：現行
英文名稱： Test method for measuring diameter of semiconductor wafer
替代情況： 替代GB/T 14140.1-1993;GB/T 14140.2-1993
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期： 2009-11-30
實施日期： 2010-06-01
首發日期： 1993-02-06
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)
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