標準編號：GB/T 6624-2009硅拋光片表面質量目測檢驗方法
標準狀態：現行
標準簡介：本標準規定了在一定光照條件下，用目測檢驗單晶拋光片(以下簡稱拋光片)表面質量的方法。本標準適用于硅拋光片表面質量檢驗。外延片表面質量目測檢驗也可參考本方法進行。
英文名稱： Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection
替代情況： 替代GB/T 6624-1995
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
首發日期： 1986-07-26
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會
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