標準編號：GB/T 14139-2009硅外延片
標準狀態：現行
標準簡介：本標準規定了硅外延片的產品分類、技術要求、試驗方法和檢驗規則及標志、包裝運輸、貯存等。本標準適用于在N 型硅拋光片襯底上生長的n型外延層(N/N+ )和在p型硅拋光片襯底上生長的P型外延層(P/P+ )的同質硅外延片。產品主要用于制作硅半導體器件。其他類型的硅外延片可參照使用。
英文名稱： Silicon epitaxial wafers
替代情況： 替代GB/T 14139-1993;被GB/T 14139-2019代替
中標分類： 冶金>>半金屬與半導體材料>>H80半金屬與半導體材料綜合
ICS分類： 電氣工程>>29.045半導體材料
發布部門： 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
發布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
作廢日期： 2020-05-01
首發日期： 1993-02-06
提出單位： 全國半導體設備和材料標準化技術委員會
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