硅中硼檢測哪里可以做?中析研究所實驗室提供硅中硼檢測服務，出具的硅中硼檢測報告支持掃碼查詢真偽。服務領域：半導體工業、玻璃工業、陶瓷工業、核工業、冶金工業、化學合成、電池材料和防腐涂料。服務項目：硼含量檢測、雜質檢測、結晶質量檢測、電學性能檢測等。實驗室工程師嚴格按照相關標準進行實驗，并且提供非標實驗定制服務。

　　檢測周期:7-15個工作日，參考周期

　　檢測樣品

　　多晶硅，單晶硅，多晶硅片，單晶硅片，硅膜

　　檢測項目

　　硼含量檢測：確定硅樣品中硼的含量。這可以通過化學分析方法，如原子吸收光譜(AAS)或電感耦合等離子體發射光譜(ICP-OES)來進行。

　　雜質檢測：除了硼之外，還需要檢測硅樣品中的其他雜質元素，如金屬雜質(鐵、銅、鋁等)和其他非金屬雜質(氧、碳等)。這可以通過多種分析方法進行，如質譜儀、離子色譜儀等。

　　結晶質量檢測：對于硅中硼的晶體樣品，可以進行結晶質量的檢測。這包括晶體的純度、晶格結構和晶體缺陷等方面的分析，可以使用X射線衍射(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)等技術進行。

　　電學性能檢測：對于硼摻雜的硅材料，可以進行電學性能的檢測，如電導率、載流子濃度和遷移率等。這可以通過電學測試設備，如霍爾效應測量儀和四探針測量儀等進行。

　　檢測方法

　　原子吸收光譜(AAS)：這是一種常用的化學分析方法，可以測定硅樣品中的硼含量。樣品通常通過酸溶解后，使用原子吸收光譜儀測量硼的吸收特征線來確定硼的濃度。

　　電感耦合等離子體發射光譜(ICP-OES)：這是一種高靈敏度的光譜分析方法，可以用于測定硅樣品中硼的含量。樣品通常需要經過酸溶解和稀釋后，使用ICP-OES儀器測量硼的發射光譜來確定其濃度。

　　質譜法：質譜法可以用于硅中硼的定量分析。樣品通常需要經過溶解和適當的前處理后，使用質譜儀測量硼的質譜信號來確定其含量。

　　離子色譜法：離子色譜法可以用于測定硅樣品中硼的含量。樣品通常需要經過溶解和稀釋后，使用離子色譜儀分離和測定硼離子。

　　核磁共振：核磁共振技術可以用于硅中硼的定量分析。該方法基于硼原子核的磁共振信號來確定硼的含量。

　　檢測儀器

　　原子吸收光譜儀(AAS)，電感耦合等離子體發射光譜儀(ICP-OES)，質譜儀，離子色譜儀，X射線衍射儀(XRD)，掃描電子顯微鏡(SEM)，霍爾效應測量儀、四探針測量儀

　　檢測標準

　　GB/T 40109-2021 表面化學分析 二次離子質譜 硅中硼深度剖析方法

　　GB/T 20176-2006表面化學分析 二次離子質譜 用均勻摻雜物質測定硅中硼的原子濃度

　　GB/T 32495-2016表面化學分析二次離子質譜硅中砷的深度剖析方法

　　GB/T 24580-2009重摻n型硅襯底中硼沾污的二次離子質譜檢測方法

　　GB/T 13389-2014摻硼摻磷摻砷硅單晶電阻率與摻雜劑濃度換算規程

　　GB/T 29851-2013光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質含量的二次離子質譜測量方法

　　GB/T 32281-2015太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定 二次離子質譜法

　　GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學分析方法 硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測定 電感耦合等離子體質譜法

　　GB/T 34843-2017 3.3硼硅玻璃 性能